| Title: | Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок |
| Authors: | Анпилогова Е. Э. Агафонов А. Н. Пиганов М. Н. |
| Keywords: | оксид индия-олова реактивное магнетронное распыление спектроскопия токопроводящие пленки эллипсометрия |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Анпилогова, Е. Э. Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. Э. Анпилогова ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования данной работы является проводящая пленка оксид индий-олово, которая выращена на стеклянной подложке методом реактивного магнетронного распыления. Цель работы – получить проводящие пленки оксида индий-олова и экспериментально исследов |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48636 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Анпилогова_Елизавета_Эдуардовна_Технология_изготовления_оптические.pdf | 2.39 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.