Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок

Анпилогова Е. Э.; Агафонов А. Н.; Пиганов М. Н.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Анпилогова Е. Э.
dc.contributor.author	Агафонов А. Н.
dc.contributor.author	Пиганов М. Н.
dc.coverage.spatial	реактивное магнетронное распыление
dc.coverage.spatial	оксид индия-олова
dc.coverage.spatial	токопроводящие пленки
dc.coverage.spatial	эллипсометрия
dc.coverage.spatial	спектроскопия
dc.creator	Анпилогова Е. Э.
dc.date	2018
dc.date.accessioned	2025-11-27T12:30:07Z	-
dc.date.available	2025-11-27T12:30:07Z	-
dc.date.issued	2018
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\ВКР20180717112109
dc.identifier.citation	Анпилогова, Е. Э. Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. Э. Анпилогова ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48636	-
dc.description.abstract	Объектом исследования данной работы является проводящая пленка оксид индий-олово, которая выращена на стеклянной подложке методом реактивного магнетронного распыления. Цель работы – получить проводящие пленки оксида индий-олова и экспериментально исследов
dc.subject	оксид индия-олова
dc.subject	реактивное магнетронное распыление
dc.subject	спектроскопия
dc.subject	токопроводящие пленки
dc.subject	эллипсометрия
dc.subject.rugasnti	29.01
dc.subject.udc	537.5
dc.title	Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.author	Институт информатики
local.contributor.author	математики и электроники
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Tehnologiya-izgotovleniya-i-opticheskie-svoistva-prozrachnyh-tokoprovodyashih-plenok-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74773
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Анпилогова_Елизавета_Эдуардовна_Технология_изготовления_оптические.pdf	2.39 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record