Title: Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок
Authors: Анпилогова Е. Э.
Агафонов А. Н.
Пиганов М. Н.
Keywords: оксид индия-олова
реактивное магнетронное распыление
спектроскопия
токопроводящие пленки
эллипсометрия
Issue Date: 2018
Citation: Анпилогова, Е. Э. Технология изготовления и оптические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. Э. Анпилогова ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2018. - on-line
Abstract: Объектом исследования данной работы является проводящая пленка оксид индий-олово, которая выращена на стеклянной подложке методом реактивного магнетронного распыления. Цель работы – получить проводящие пленки оксида индий-олова и экспериментально исследов
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48636
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.