| Title: | Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок |
| Authors: | Лобачева А. И. Агафонов А. Н. Пиганов М. Н. |
| Keywords: | оксид индий-олово прозрачные токопроводящие пленки реактивное магнетронное распыление четырехзондовый метод измерения |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Лобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48627 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Лобачева_Анастасия_Игоревна_Технология_изготовления_электрические.pdf | 3.28 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.