Title: Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок
Authors: Лобачева А. И.
Агафонов А. Н.
Пиганов М. Н.
Keywords: оксид индий-олово
прозрачные токопроводящие пленки
реактивное магнетронное распыление
четырехзондовый метод измерения
Issue Date: 2018
Citation: Лобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
Abstract: Объектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48627
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.