Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛобачева А. И.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialреактивное магнетронное распыление
dc.coverage.spatialоксид индий-олово
dc.coverage.spatialпрозрачные токопроводящие пленки
dc.coverage.spatialчетырехзондовый метод измерения
dc.creatorЛобачева А. И.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:02Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:02Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133143
dc.identifier.citationЛобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48627-
dc.description.abstractОбъектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В
dc.subjectоксид индий-олово
dc.subjectпрозрачные токопроводящие пленки
dc.subjectреактивное магнетронное распыление
dc.subjectчетырехзондовый метод измерения
dc.subject.rugasnti29.01
dc.subject.udc537.5
dc.titleТехнология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Tehnologiya-izgotovleniya-i-elektricheskie-svoistva-prozrachnyh-tokoprovodyashih-plenok-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74774
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.