Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания |
| Authors: | Шульга В. В. Агафонов А. Н. Платонов В. И. |
| Keywords: | боросиликатное стекло герметизация лабораторные установки металлизация микрофлюидика соединение поверхностей сращивание |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Шульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | Цель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращивания |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47605 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Шульга_Василий_Викторович_Разработка_лабораторной_установки.pdf | 1.24 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.