1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШульга В. В.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorПлатонов В. И.
dc.coverage.spatialсращивание
dc.coverage.spatialсоединение поверхностей
dc.coverage.spatialборосиликатное стекло
dc.coverage.spatialлабораторные установки
dc.coverage.spatialгерметизация
dc.coverage.spatialмикрофлюидика
dc.coverage.spatialметаллизация
dc.creatorШульга В. В.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:35:55Z-
dc.date.available2025-11-27T12:35:55Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150950
dc.identifier.citationШульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47605-
dc.description.abstractЦель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращивания
dc.subjectборосиликатное стекло
dc.subjectгерметизация
dc.subjectлабораторные установки
dc.subjectметаллизация
dc.subjectмикрофлюидика
dc.subjectсоединение поверхностей
dc.subjectсращивание
dc.subject.rugasnti34.05
dc.subject.udc543
dc.titleРазработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут электроники и приборостроения
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-laboratornoi-ustanovki-dlya-soedineniya-poverhnostei-metodom-anodnogo-srashivaniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69351
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Шульга_Василий_Викторович_Разработка_лабораторной_установки.pdf1.24 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.