| Title: | Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом |
| Authors: | Хабло И. И. Агафонов А. Н. Латухина Н. В. |
| Keywords: | малогабаритные устройства измерительные стенды четырехэлектродный метод удельное сопротивление удельное поверхностное сопротивление тонких пленок толщина напыления |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Хабло, И. И. Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. И. Хабло ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Н. В. Латухина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | Целью работы - является разработка конструкции для измерения удельного электрического поверхностного сопротивления четырехэлектродным методом.В данной работе рассмотрены методы, способы и средства измерений удельного поверхностного сопротивления тонких пленок, разработано малогабаритное устройство с удовлетворительными погрешностями измерений. Проведен ряд экспериментов по измерению параметров тонких пленок различных металлов. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47573 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Хабло_Игорь_Иванович_Разработка_стенда_измерения.pdf | 2.07 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.