Title: Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом
Authors: Хабло И. И.
Агафонов А. Н.
Латухина Н. В.
Keywords: малогабаритные устройства
измерительные стенды
четырехэлектродный метод
удельное сопротивление
удельное поверхностное сопротивление тонких пленок
толщина напыления
Issue Date: 2017
Citation: Хабло, И. И. Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. И. Хабло ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Н. В. Латухина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2017. - on-line
Abstract: Целью работы - является разработка конструкции для измерения удельного электрического поверхностного сопротивления четырехэлектродным методом.В данной работе рассмотрены методы, способы и средства измерений удельного поверхностного сопротивления тонких пленок, разработано малогабаритное устройство с удовлетворительными погрешностями измерений. Проведен ряд экспериментов по измерению параметров тонких пленок различных металлов.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47573
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.