Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХабло И. И.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorЛатухина Н. В.
dc.coverage.spatialизмерительные стенды
dc.coverage.spatialтолщина напыления
dc.coverage.spatialмалогабаритные устройства
dc.coverage.spatialудельное сопротивление
dc.coverage.spatialудельное поверхностное сопротивление тонких пленок
dc.coverage.spatialчетырехэлектродный метод
dc.creatorХабло И. И.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:34:44Z-
dc.date.available2025-11-27T12:34:44Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214161402
dc.identifier.citationХабло, И. И. Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. И. Хабло ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Н. В. Латухина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47573-
dc.description.abstractЦелью работы - является разработка конструкции для измерения удельного электрического поверхностного сопротивления четырехэлектродным методом.В данной работе рассмотрены методы, способы и средства измерений удельного поверхностного сопротивления тонких пленок, разработано малогабаритное устройство с удовлетворительными погрешностями измерений. Проведен ряд экспериментов по измерению параметров тонких пленок различных металлов.
dc.subjectизмерительные стенды
dc.subjectмалогабаритные устройства
dc.subjectтолщина напыления
dc.subjectудельное поверхностное сопротивление тонких пленок
dc.subjectудельное сопротивление
dc.subjectчетырехэлектродный метод
dc.subject.rugasnti47.59.49
dc.subject.udc621.382
dc.titleРазработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-stenda-dlya-izmereniya-elektricheskogo-soprotivleniya-tonkih-plenok-4h-elektrodnym-metodom-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69332
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.