Исследование свойств тонких резистивных пленок хрома

Abstract

Цель работы - исследование изменения свойств тонких резистивных пленок хрома в зависимости от их толщины.Для решения поставленных задач были применены следующие методы: четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления, метод интерферометрии, метод атомно-силовой микроскопии.Экспериментально установлено, что с уменьшением толщины пленки, ее электрическое сопротивление может превышать сопротивление массивных металлов на порядок и более. При толщинах менее 10 нм происходит потеря сплошности пленки.Определено, что размер кристаллитов зависит от масштабного фактора-толщины пленки.При повышенных температурах происходит деградация хромовых тонких пленок за счет их интенсивного окисления. Зависимость сопротивления пленок от времени нагрева имеет параболический вид.