1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВершков Д. А.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.contributor.authorЛофицкий И. В.
dc.coverage.spatialкристаллиты
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialтонкие пленки
dc.coverage.spatialчетырехзондовый метод
dc.coverage.spatialдеградация
dc.coverage.spatialграницы зерен
dc.coverage.spatialудельное сопротивление
dc.creatorВершков Д. А.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:34:42Z-
dc.date.available2025-11-27T12:34:42Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171215113621
dc.identifier.citationВершков, Д. А. Исследование свойств тонких резистивных пленок хрома : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. А. Вершков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47563-
dc.description.abstractЦель работы - исследование изменения свойств тонких резистивных пленок хрома в зависимости от их толщины.Для решения поставленных задач были применены следующие методы: четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления, метод интерферометрии, метод атомно-силовой микроскопии.Экспериментально установлено, что с уменьшением толщины пленки, ее электрическое сопротивление может превышать сопротивление массивных металлов на порядок и более. При толщинах менее 10 нм происходит потеря сплошности пленки.Определено, что размер кристаллитов зависит от масштабного фактора-толщины пленки.При повышенных температурах происходит деградация хромовых тонких пленок за счет их интенсивного окисления. Зависимость сопротивления пленок от времени нагрева имеет параболический вид.
dc.subjectграницы зерен
dc.subjectдеградация
dc.subjectкристаллиты
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectтонкие пленки
dc.subjectудельное сопротивление
dc.subjectчетырехзондовый метод
dc.subject.rugasnti47.33
dc.subject.udc539.2
dc.titleИсследование свойств тонких резистивных пленок хрома
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Issledovanie-svoistv-tonkih-rezistivnyh-plenok-hroma-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69201
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Вершков_Денис_Андреевич_Исследование_свойств_тонких_резистивных.pdf2.14 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.