Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 |
| Authors: | Кочетков Д. В. Архипов А. В. Лофицкий И. В. |
| Keywords: | контактные нагреватели программные измерители-регуляторы системы нагрева подложек тепловые модели термовакуумное испарение термовакуумное напыление |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Кочетков, Д. В. Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. В. Кочетков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является контактный нагреватель подложек дляустановки термовакуумного напыления.Цель работы – разработка контактного нагревателя подложек с системойуправления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5.В данной работе рассмотрены варианты исполнения и материалы дляизготовления системы нагрева подложек. Для создания нагревателя быларазработана система, включающая в себя керамические и металлическиепластины и нихромовую фольгу. Нагрев образцов происходит за счетомического нагрева, путем накала нихромовой фольги, посредствомпропускания через нее электрического тока. Управление системойпроизводится посредством ПИД-регулятора ТРМ151-01 с термопарой типаТП-0188/2-1.В разработанном проекте использованы следующие установки иустройства: пост вакуумный универсальный ВУП-5, программныйизмеритель-регулятор ТРМ151-01. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47546 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Кочетков_Дмитрий_Валерьевич_Разработка_контактного_нагревателя_подложек.pdf | 2.64 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.