1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКочетков Д. В.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.contributor.authorЛофицкий И. В.
dc.coverage.spatialсистемы нагрева подложек
dc.coverage.spatialконтактные нагреватели
dc.coverage.spatialтермовакуумное испарение
dc.coverage.spatialтермовакуумное напыление
dc.coverage.spatialтепловые модели
dc.coverage.spatialпрограммные измерители-регуляторы
dc.creatorКочетков Д. В.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:34:40Z-
dc.date.available2025-11-27T12:34:40Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171215113855
dc.identifier.citationКочетков, Д. В. Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. В. Кочетков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47546-
dc.description.abstractОбъектом исследования является контактный нагреватель подложек дляустановки термовакуумного напыления.Цель работы – разработка контактного нагревателя подложек с системойуправления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5.В данной работе рассмотрены варианты исполнения и материалы дляизготовления системы нагрева подложек. Для создания нагревателя быларазработана система, включающая в себя керамические и металлическиепластины и нихромовую фольгу. Нагрев образцов происходит за счетомического нагрева, путем накала нихромовой фольги, посредствомпропускания через нее электрического тока. Управление системойпроизводится посредством ПИД-регулятора ТРМ151-01 с термопарой типаТП-0188/2-1.В разработанном проекте использованы следующие установки иустройства: пост вакуумный универсальный ВУП-5, программныйизмеритель-регулятор ТРМ151-01.
dc.subjectконтактные нагреватели
dc.subjectпрограммные измерители-регуляторы
dc.subjectсистемы нагрева подложек
dc.subjectтепловые модели
dc.subjectтермовакуумное испарение
dc.subjectтермовакуумное напыление
dc.subject.rugasnti47.13.07
dc.subject.udc621.382
dc.titleРазработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-kontaktnogo-nagrevatelya-podlozhek-s-sistemoi-upravleniya-dlya-ustanovki-termovakuumnogo-napyleniya-na-osnove-VUP5-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69200
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Кочетков_Дмитрий_Валерьевич_Разработка_контактного_нагревателя_подложек.pdf2.64 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.