Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO)

Мокшин П. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.

Title:	Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO)
Authors:	Мокшин П. В. Володкин Б. О. Братченко И. А.
Keywords:	тонкие пленки оксида индия и олова (ITO) магнетронное напыление оксид индия олова оптоэлектроника стехиометрия запрещенная зона
Issue Date:	2017
Citation:	Мокшин, П. В. Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. В. Мокшин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line
Abstract:	В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с напылением тонких проводящих пленок на подложки.Цель работы – оценить выходные электрические параметры образцов, полученных с помощью магнетронного напыления оксида индия и олова (ИТО) на стеклянные подложки.В работе проведен анализ современных методов нанесения прозрачных проводящих покрытий. Рассмотрены преимущества и недостатки таких методов как: катодное распыление, жидкофазная эпитаксия, резистивное испарение, электрохимическое испарение, лазерное распыление, индукционное распыление, ионно-плазменное распыление, магнетронное распыление. Сделан вывод о целесообразности использования магнетронного распыления мишени индий-олова в атмосфере кислорода, для получения прозрачный проводящих покрытий оксида индий-олова. Отработаны режимы магнетронного распыления для получения покрытий с минимальным сопротивлением.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47073
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Мокшин_Павел_Валериевич_Исследование_технологии_нанесения_тонких.pdf	1.16 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record

Samara University Repository

Welcome!