1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМокшин П. В.
dc.contributor.authorВолодкин Б. О.
dc.contributor.authorБратченко И. А.
dc.coverage.spatialзапрещенная зона
dc.coverage.spatialоксид индия олова
dc.coverage.spatialоптоэлектроника
dc.coverage.spatialтонкие пленки оксида индия и олова (ITO)
dc.coverage.spatialстехиометрия
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.creatorМокшин П. В.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:23:48Z-
dc.date.available2025-11-27T12:23:48Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180522104101
dc.identifier.citationМокшин, П. В. Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. В. Мокшин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47073-
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются вопросы, связанные с напылением тонких проводящих пленок на подложки.Цель работы – оценить выходные электрические параметры образцов, полученных с помощью магнетронного напыления оксида индия и олова (ИТО) на стеклянные подложки.В работе проведен анализ современных методов нанесения прозрачных проводящих покрытий. Рассмотрены преимущества и недостатки таких методов как: катодное распыление, жидкофазная эпитаксия, резистивное испарение, электрохимическое испарение, лазерное распыление, индукционное распыление, ионно-плазменное распыление, магнетронное распыление. Сделан вывод о целесообразности использования магнетронного распыления мишени индий-олова в атмосфере кислорода, для получения прозрачный проводящих покрытий оксида индий-олова. Отработаны режимы магнетронного распыления для получения покрытий с минимальным сопротивлением.
dc.subjectзапрещенная зона
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectоксид индия олова
dc.subjectоптоэлектроника
dc.subjectстехиометрия
dc.subjectтонкие пленки оксида индия и олова (ITO)
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.793.7
dc.titleИсследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO)
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Issledovanie-tehnologii-naneseniya-tonkih-plenok-oksida-indiya-i-olova-ITO-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-71774
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Мокшин_Павел_Валериевич_Исследование_технологии_нанесения_тонких.pdf1.16 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.