Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе

Abstract

Целью выпускной квалификационной работы бакалавра является разработка газовых микросенсоров на чиповой основе для газовой хроматографии. Исходя из поставленной цели, были поставлены следующие задачи: 1) Разработка метода изготовления планарных резисторов с помощью УФ-литографии на базе металлических пленок, нанесенных методом магнетронного напыления; 2) Определение оптимальной толщины резистивной пленки металла, для получения наибольшего температурного коэффициента сопротивления; 3) Разработка методики нанесения каталитического слоя платины на планарный резистор; 4) Определение зависимости сопротивления планарных резисторов от их геометрии; 5) Проектирование и изготовление корпуса для чувствительных элементов газовых микросенсоров; 6) Определение основных метрологических характеристик газовых микросенсоров в системе портативного микрохроматографа «ПИА».