1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЯкуненков Р. Е.
dc.contributor.authorПлатонов В. И.
dc.coverage.spatialмагнетроны
dc.coverage.spatialчувствительные элементы
dc.coverage.spatialдетекторы
dc.coverage.spatialмикросенсоры
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системы (МЭМС)
dc.creatorЯкуненков Р. Е.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:12:10Z-
dc.date.available2025-11-27T12:12:10Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20170616154902
dc.identifier.citationЯкуненков, Р. Е. Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе : вып. квалификац. работа по спец. "Наноинженерия" / Р. Е. Якуненков ; рук. работы В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т ракет.-косм. техники, Каф. химии. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/46490-
dc.description.abstractЦелью выпускной квалификационной работы бакалавра является разработка газовых микросенсоров на чиповой основе для газовой хроматографии. Исходя из поставленной цели, были поставлены следующие задачи: 1) Разработка метода изготовления планарных резисторов с помощью УФ-литографии на базе металлических пленок, нанесенных методом магнетронного напыления; 2) Определение оптимальной толщины резистивной пленки металла, для получения наибольшего температурного коэффициента сопротивления; 3) Разработка методики нанесения каталитического слоя платины на планарный резистор; 4) Определение зависимости сопротивления планарных резисторов от их геометрии; 5) Проектирование и изготовление корпуса для чувствительных элементов газовых микросенсоров; 6) Определение основных метрологических характеристик газовых микросенсоров в системе портативного микрохроматографа «ПИА».
dc.subjectдетекторы
dc.subjectмагнетроны
dc.subjectмикросенсоры
dc.subjectмикроэлектромеханические системы (МЭМС)
dc.subjectчувствительные элементы
dc.subject.rugasnti31.15.35
dc.subject.udc543.544
dc.titleРазработка газовых микросенсоров на чиповой основе
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут ракетно-космической техники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-gazovyh-mikrosensorov-na-chipovoi-osnove-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Nanoinzheneriya-64660
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Якуненков_Роман_Евгеньевич_Разработка_газовых_микросенсоров.pdf2.87 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.