Методы и техника измерения толщины тонких пленок

Дмитриев В. Д.; Волков А. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Методы и техника измерения толщины тонких пленок
Authors:	Дмитриев В. Д. Волков А. В.
Keywords:	конденсат методические издания микросхемы термическое испарение тонкие пленки устройство прибора МЛП-4
Issue Date:	1982
Citation:	Методы и техника измерения толщины тонких пленок : метод. указания к лаб. работе 33 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (505 Кб). - Текст : электронный
Abstract:	Изучаются методы и техника измерения толщины тонких пленок, полученных термическим испарением. Дается устройство прибора МЛП-4 и правила работы на нем. Анализируется распределение конденсата по поверхности плоской подложки. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем". Используемые программы Adobe Acrobat Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия)
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40639
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Size	Format
Дмитриев В.Д. Методы 1982.pdf	504.95 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record