Методы и техника измерения толщины тонких пленок

Дмитриев В. Д.; Волков А. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Дмитриев В. Д.
dc.contributor.author	Волков А. В.
dc.coverage.spatial	конденсат
dc.coverage.spatial	методические издания
dc.coverage.spatial	микросхемы
dc.coverage.spatial	термическое испарение
dc.coverage.spatial	тонкие пленки
dc.coverage.spatial	устройство прибора МЛП-4
dc.date	1982
dc.date.accessioned	2025-11-26T12:22:01Z	-
dc.date.available	2025-11-26T12:22:01Z	-
dc.date.issued	1982
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\558496
dc.identifier.citation	Методы и техника измерения толщины тонких пленок : метод. указания к лаб. работе 33 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (505 Кб). - Текст : электронный
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40639	-
dc.description.abstract	Изучаются методы и техника измерения толщины тонких пленок, полученных термическим испарением. Дается устройство прибора МЛП-4 и правила работы на нем. Анализируется распределение конденсата по поверхности плоской подложки. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем".
dc.description.abstract	Используемые программы Adobe Acrobat
dc.description.abstract	Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия)
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Методы и техника измерения толщины тонких пленок : метод. указания к лаб. работе 33. - Текст : непосредственный
dc.subject	конденсат
dc.subject	методические издания
dc.subject	микросхемы
dc.subject	термическое испарение
dc.subject	тонкие пленки
dc.subject	устройство прибора МЛП-4
dc.subject.rugasnti	47.03.11
dc.subject.udc	621.382.049.772(075)
dc.title	Методы и техника измерения толщины тонких пленок
dc.type	Text
local.contributor.author	Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.contributor.author	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Metody-i-tehnika-izmereniya-tolshiny-tonkih-plenok-114126
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Metody-i-tehnika-izmereniya-tolshiny-tonkih-plenok-114126
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Size	Format
Дмитриев В.Д. Методы 1982.pdf	504.95 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record