Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии |
| Authors: | Дмитриев В. Д. Волков А. В. |
| Keywords: | гибридные интегральные схемы (ГИС) методические издания микросхемы пассивные элементы ГИС фотолиграфические процессы |
| Issue Date: | 1982 |
| Citation: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (461,75 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения и практического освоения основных операций фотолитографического процесса получения рисунка пассивных элементов ГИС. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем".. Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40267 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Дмитриев В.Д. Изучение 1982.pdf | 470.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.