1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.
dc.contributor.authorВолков А. В.
dc.coverage.spatialгибридные интегральные схемы (ГИС)
dc.coverage.spatialметодические издания
dc.coverage.spatialмикросхемы
dc.coverage.spatialпассивные элементы ГИС
dc.coverage.spatialфотолиграфические процессы
dc.date1982
dc.date.accessioned2025-11-26T12:15:22Z-
dc.date.available2025-11-26T12:15:22Z-
dc.date.issued1982
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470501
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (461,75 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40267-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractПредлагаются методы изучения и практического освоения основных операций фотолитографического процесса получения рисунка пассивных элементов ГИС. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем"..
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : непосредственный
dc.subjectпассивные элементы ГИС
dc.subjectфотолиграфические процессы
dc.subjectмикросхемы
dc.subjectметодические издания
dc.subjectгибридные интегральные схемы (ГИС)
dc.subject.rugasnti47.01
dc.subject.udc621.382.049.77.002(075)
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-fotolitografii-93713
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-fotolitografii-93713
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Дмитриев В.Д. Изучение 1982.pdf470.97 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.