Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение процессов термообработки в технологии изготовления толстопленочных интегральных микросхем и микросборок |
| Authors: | Буянов В. К. Буров Н. И. Пиганов М. Н. |
| Keywords: | интегральные микросхемы МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ микросборки термическая обработка толстопленочная технология |
| Issue Date: | 1991 |
| Citation: | Изучение процессов термообработки в технологии изготовления толстопленочных интегральных микросхем и микросборок : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, Н. И. Буров, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (385,70 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Рассмотрены процессы, протекающие в пастах для толстых пленок во время термообработка, методы формирования слоев толстопленочной микросхемы. Дано описание оборудования для термообработки. Предназначены для студентов спец.23.03. Составлены на кафедре *Микроэлектроника и технология РЭА". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40262 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Буянов В.К. Изучение процессов 1991.pdf | 385.7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.