Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБуянов В. К.
dc.contributor.authorБуров Н. И.
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialМЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
dc.coverage.spatialмикросборки
dc.coverage.spatialтермическая обработка
dc.coverage.spatialтолстопленочная технология
dc.date1991
dc.date.accessioned2025-11-26T12:15:23Z-
dc.date.available2025-11-26T12:15:23Z-
dc.date.issued1991
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470602
dc.identifier.citationИзучение процессов термообработки в технологии изготовления толстопленочных интегральных микросхем и микросборок : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, Н. И. Буров, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (385,70 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40262-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractРассмотрены процессы, протекающие в пастах для толстых пленок во время термообработка, методы формирования слоев толстопленочной микросхемы. Дано описание оборудования для термообработки. Предназначены для студентов спец.23.03. Составлены на кафедре *Микроэлектроника и технология РЭА".
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение процессов термообработки в технологии изготовления толстопленочных интегральных микросхем и микросборок : метод. указания к лаб. работе
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectМЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
dc.subjectмикросборки
dc.subjectтермическая обработка
dc.subjectтолстопленочная технология
dc.subject.rugasnti47.33.31
dc.subject.udc621.382.049.77.002(075)
dc.subject.udc621.382.049.772.2(075)
dc.titleИзучение процессов термообработки в технологии изготовления толстопленочных интегральных микросхем и микросборок
dc.typeText
local.contributor.authorГосударственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-processov-termoobrabotki-v-tehnologii-izgotovleniya-tolstoplenochnyh-integralnyh-mikroshem-i-mikrosborok-93701
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-processov-termoobrabotki-v-tehnologii-izgotovleniya-tolstoplenochnyh-integralnyh-mikroshem-i-mikrosborok-93701
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Буянов В.К. Изучение процессов 1991.pdf385.7 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.