Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок |
| Authors: | Буянов В. К. Самсонов А. Ю. Пиганов М. Н. |
| Keywords: | гибкие интегральные схемы микроэлектроника пассивные элементы технология РЭА фотолитографические методы |
| Issue Date: | 1991 |
| Citation: | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронный |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40133 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf | 1.06 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.