1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБуянов В. К.
dc.contributor.authorСамсонов А. Ю.
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialгибкие интегральные схемы
dc.coverage.spatialмикроэлектроника
dc.coverage.spatialпассивные элементы
dc.coverage.spatialтехнология РЭА
dc.coverage.spatialфотолитографические методы
dc.date1991
dc.date.accessioned2025-11-26T12:21:03Z-
dc.date.available2025-11-26T12:21:03Z-
dc.date.issued1991
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\478980
dc.identifier.citationИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/40133-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractПредлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА".
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственный
dc.subjectтехнология РЭА
dc.subjectфотолитографические методы
dc.subjectпассивные элементы
dc.subjectмикроэлектроника
dc.subjectгибкие интегральные схемы
dc.subject.rugasnti47.01
dc.subject.udc621.382.049.776(075)
dc.titleИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок
dc.typeText
local.contributor.authorГосударственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf1.06 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.