Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Исследование процесса окисления тонких пленок |
| Authors: | Пиганов М. Н. |
| Keywords: | кремниевые пластины тонкопленочные резисторы термическое окисление полупроводники методические издания металлические пленки |
| Issue Date: | 1982 |
| Citation: | Исследование процесса окисления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 39. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. М. Н. Пиганов]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (549,52 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Рассматривается схема образования окислов при термическом окислении полупроводников и металлических пленок; проводится групповая подгонка тонкопленочных резисторов термическим окислением. Предлагается определить диапазон и скорость подгонки, рассчитать оценки математического ожидания, разброса сопротивления резисторов по подложке. Окислением кремниевой пластины получить пленку SOz , определить ее толщину. Рекомендуется для студентов специальности 0705. Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39979 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Пиганов М.Н.Исследование процесса 1982.pdf | 549.52 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.