1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialкремниевые пластины
dc.coverage.spatialметаллические пленки
dc.coverage.spatialметодические издания
dc.coverage.spatialполупроводники
dc.coverage.spatialтермическое окисление
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы
dc.date1982
dc.date.accessioned2025-11-26T12:19:14Z-
dc.date.available2025-11-26T12:19:14Z-
dc.date.issued1982
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\478314
dc.identifier.citationИсследование процесса окисления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 39. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. М. Н. Пиганов]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (549,52 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39979-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractРассматривается схема образования окислов при термическом окислении полупроводников и металлических пленок; проводится групповая подгонка тонкопленочных резисторов термическим окислением. Предлагается определить диапазон и скорость подгонки, рассчитать оценки математического ожидания, разброса сопротивления резисторов по подложке. Окислением кремниевой пластины получить пленку SOz , определить ее толщину. Рекомендуется для студентов специальности 0705.
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИсследование процесса окисления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 39. - Текст : непосредственный
dc.subjectкремниевые пластины
dc.subjectтонкопленочные резисторы
dc.subjectтермическое окисление
dc.subjectполупроводники
dc.subjectметодические издания
dc.subjectметаллические пленки
dc.subject.rugasnti47.01
dc.subject.udc621.382.049.772(075)
dc.titleИсследование процесса окисления тонких пленок
dc.typeText
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processa-okisleniya-tonkih-plenok-96617
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processa-okisleniya-tonkih-plenok-96617
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Пиганов М.Н.Исследование процесса 1982.pdf549.52 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.