Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме |
| Authors: | Дмитриев В. Д. Меркулов А. И. |
| Keywords: | методы осаждения осаждаемые материалы навески метод термического осаждения в вакууме материалы для испарителей маски интегральные микросхемы гибридные интегральные схемы технологические процессы пассивные элементы интегральных микросхем пассивные элементы |
| Issue Date: | 2002 |
| Citation: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-line |
| Abstract: | Приводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элеме Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39972 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf | 202.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.