1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.
dc.contributor.authorМеркулов А. И.
dc.coverage.spatialгибридные интегральные схемы
dc.coverage.spatialосаждаемые материалы
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialнавески
dc.coverage.spatialметоды осаждения
dc.coverage.spatialтехнологические процессы
dc.coverage.spatialпассивные элементы
dc.coverage.spatialпассивные элементы интегральных микросхем
dc.coverage.spatialмаски
dc.coverage.spatialматериалы для испарителей
dc.coverage.spatialметод термического осаждения в вакууме
dc.date2002
dc.date.accessioned2025-11-26T12:19:16Z-
dc.date.available2025-11-26T12:19:16Z-
dc.date.issued2002
dc.identifier.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-216195
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39972-
dc.description.abstractПриводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элеме
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Текст] : метод. указан
dc.subjectметоды осаждения
dc.subjectосаждаемые материалы
dc.subjectнавески
dc.subjectметод термического осаждения в вакууме
dc.subjectматериалы для испарителей
dc.subjectмаски
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectгибридные интегральные схемы
dc.subjectтехнологические процессы
dc.subjectпассивные элементы интегральных микросхем
dc.subjectпассивные элементы
dc.subject.rugasnti47.45
dc.subject.udc621.382(075)
dc.subject.udcСГАУ:6(075)
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме
dc.typeText
local.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-ukazaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-gibridnyh-integralnyh-mikroshem-metodom-termicheskogo-osazhdeniya-v-vakuume-Elektronnyi-resurs-metod-ukazaniya-k-lab-rabote-53754
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf202.54 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.