Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии напыления тонких пленок |
| Authors: | Волков А. В. |
| Keywords: | тонкие пленки тонкопленочное напыление технология напыления термовакуумное напыление методические материалы |
| Issue Date: | 1983 |
| Citation: | Изучение технологии напыления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 2. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Волков. - Куйбышев, 1983. - 1 файл (342,87 Кб) |
| Abstract: | Гриф. Используемые программы: Adobe Acrobat. Описывается технология получения тонких пленок методом термовакуумного напыления. Рассматриваются особенности напыления резистивных, диэлектрических и проводящих материалов и способы получения пленок заданной конфигурации. Проводится анализ связи технологического процесса напыления и параметров тонкопленочных элементов. Рекомендуется для студентов специальности 0701. Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39904 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Волков А.В. Изучение 1983.pdf | 342.87 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.