1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВолков А. В.
dc.coverage.spatialметодические материалы
dc.coverage.spatialтермовакуумное напыление
dc.coverage.spatialтехнология напыления
dc.coverage.spatialтонкие пленки
dc.coverage.spatialтонкопленочное напыление
dc.date1983
dc.date.accessioned2025-11-26T12:17:31Z-
dc.date.available2025-11-26T12:17:31Z-
dc.date.issued1983
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470497
dc.identifier.citationИзучение технологии напыления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 2. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Волков. - Куйбышев, 1983. - 1 файл (342,87 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39904-
dc.description.abstractГриф.
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractОписывается технология получения тонких пленок методом термовакуумного напыления. Рассматриваются особенности напыления резистивных, диэлектрических и проводящих материалов и способы получения пленок заданной конфигурации. Проводится анализ связи технологического процесса напыления и параметров тонкопленочных элементов. Рекомендуется для студентов специальности 0701.
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение технологии напыления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 2. - Текст : непосредственный
dc.subjectтонкие пленки
dc.subjectтонкопленочное напыление
dc.subjectтехнология напыления
dc.subjectтермовакуумное напыление
dc.subjectметодические материалы
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.382.049.772(075)
dc.subject.udc621.793(075)
dc.titleИзучение технологии напыления тонких пленок
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-napyleniya-tonkih-plenok-92716
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-napyleniya-tonkih-plenok-92716
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Волков А.В. Изучение 1983.pdf342.87 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.