Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники

Матюнин С. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники
Authors:	Матюнин С. А.
Keywords:	микроэлектроника оптоэлектронные элементы проектирование технология изготовления тонкопленочные оптические элементы
Issue Date:	2003
Citation:	Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники [Электронный ресурс] : метод. указания / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; авт.-сост. С. А. Матюнин. - Самара, 2003. - on-line
Abstract:	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Используемые программы: Adobe Acrobat Д аются основные положен и я тео р и и спектрального взаим одействия во м ногокомпонентны х оптоэлектронны х элем ен тах , рассм атриваю тся вопросы проекти рован и я и технологии изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники с заданны
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39581
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Матюнин С.А. Синтез и технология.pdf	from 1C	1.07 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record