Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники

Матюнин С. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Матюнин С. А.
dc.coverage.spatial	технология изготовления
dc.coverage.spatial	тонкопленочные оптические элементы
dc.coverage.spatial	проектирование
dc.coverage.spatial	микроэлектроника
dc.coverage.spatial	оптоэлектронные элементы
dc.date	2003
dc.date.accessioned	2025-11-26T12:20:09Z	-
dc.date.available	2025-11-26T12:20:09Z	-
dc.date.issued	2003
dc.identifier.identifier	RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/С 387-337160
dc.identifier.citation	Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники [Электронный ресурс] : метод. указания / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; авт.-сост. С. А. Матюнин. - Самара, 2003. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39581	-
dc.description.abstract	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
dc.description.abstract	Используемые программы: Adobe Acrobat
dc.description.abstract	Д аются основные положен и я тео р и и спектрального взаим одействия во м ногокомпонентны х оптоэлектронны х элем ен тах , рассм атриваю тся вопросы проекти рован и я и технологии изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники с заданны
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники [Текст] : метод. указания
dc.subject	микроэлектроника
dc.subject	оптоэлектронные элементы
dc.subject	проектирование
dc.subject	технология изготовления
dc.subject	тонкопленочные оптические элементы
dc.subject.rugasnti	47.14.07
dc.subject.udc	621.382.049.77(075)
dc.subject.udc	СГАУ:6(075)
dc.title	Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники
dc.type	Text
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-ukazaniya/Sintez-i-tehnologiya-izgotovleniya-tonkoplenochnyh-opticheskih-elementov-mikroelektroniki-Elektronnyi-resurs-metod-ukazaniya-53827
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Матюнин С.А. Синтез и технология.pdf	from 1C	1.07 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record