Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов |
| Authors: | Пиганов М. Н. Дмитриев В. Д. Архипов А. В. |
| Keywords: | методы удаления газа установка тонкопленочного напыления материалов приборы измерения степени вакуума методические материалы измерение степени вакуума вакуумные установки |
| Issue Date: | 2007 |
| Citation: | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Приводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС. Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39056 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf | 901.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.