1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.coverage.spatialвакуумные установки
dc.coverage.spatialизмерение степени вакуума
dc.coverage.spatialметодические материалы
dc.coverage.spatialметоды удаления газа
dc.coverage.spatialприборы измерения степени вакуума
dc.coverage.spatialустановка тонкопленочного напыления материалов
dc.date2007
dc.date.accessioned2025-11-26T12:20:13Z-
dc.date.available2025-11-26T12:20:13Z-
dc.date.issued2007
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470518
dc.identifier.citationИзучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39056-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractПриводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС.
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственный
dc.subjectметоды удаления газа
dc.subjectустановка тонкопленочного напыления материалов
dc.subjectприборы измерения степени вакуума
dc.subjectметодические материалы
dc.subjectизмерение степени вакуума
dc.subjectвакуумные установки
dc.subject.rugasnti47.01.33
dc.subject.udc621.382.049.77(075)
dc.titleИзучение установки тонкопленочного напыления материалов
dc.typeText
local.contributor.authorФедеральное агентство по образованию
local.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf901.02 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.