Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники |
| Authors: | Рафельсон Л. Л. Чернова Т. В. |
| Keywords: | интегральные схемы методические указания микроэлектроника полупроводники |
| Issue Date: | 1993 |
| Citation: | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Текст : электронный / М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. Л. Л. Рафельсон, Т. В. Чернова. - Самаpа, 1993. - 1 файл (903 Кб) |
| Abstract: | Рассмотрены современные методы исследования тонкопленочных и толстопленочных элементов интегральных схем, полупроводников, сегнето- и пьезоэлектриков, материалов функциональных схем. Дан сравнительный анализ различных методов, приведены их возможности и ограничения. Приведены примеры практического использования методик для исследования и измерения параметров элементов интегральных схем. Рекомендуется студентам спец. 23.03, изучающим курс "Специальные вопросы микроэлектроники и технологии*. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЗА*. Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). Используемые программы: Adobe Acrobat. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38969 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Рафельсон Л.Л. Аналитические исследования 1993.pdf | 904 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.