Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники

Рафельсон Л. Л.; Чернова Т. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Рафельсон Л. Л.
dc.contributor.author	Чернова Т. В.
dc.coverage.spatial	интегральные схемы
dc.coverage.spatial	микроэлектроника
dc.coverage.spatial	методические указания
dc.coverage.spatial	полупроводники
dc.date	1993
dc.date.accessioned	2025-11-26T12:18:50Z	-
dc.date.available	2025-11-26T12:18:50Z	-
dc.date.issued	1993
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\449978
dc.identifier.citation	Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Текст : электронный / М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. Л. Л. Рафельсон, Т. В. Чернова. - Самаpа, 1993. - 1 файл (903 Кб)
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38969	-
dc.description.abstract	Рассмотрены современные методы исследования тонкопленочных и толстопленочных элементов интегральных схем, полупроводников, сегнето- и пьезоэлектриков, материалов функциональных схем. Дан сравнительный анализ различных методов, приведены их возможности и ограничения. Приведены примеры практического использования методик для исследования и измерения параметров элементов интегральных схем. Рекомендуется студентам спец. 23.03, изучающим курс "Специальные вопросы микроэлектроники и технологии. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЗА.
dc.description.abstract	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия).
dc.description.abstract	Используемые программы: Adobe Acrobat.
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Тек
dc.subject	интегральные схемы
dc.subject	методические указания
dc.subject	микроэлектроника
dc.subject	полупроводники
dc.subject.rugasnti	47.33.31
dc.subject.udc	621.382.049.77.002(075)
dc.title	Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство науки
local.contributor.author	высшей школы и технической политики Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Analiticheskie-issledovaniya-i-izmereniya-v-proizvodstve-izdelii-specialnoi-mikroelektroniki-metod-ukazaniya-k-kontroliruemoi-samostoyat-rabote-Tekst-elektronnyi-87102
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Size	Format
Рафельсон Л.Л. Аналитические исследования 1993.pdf	904 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record