Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме |
| Authors: | Волков А. В. Дмитриев В. Д. Калугина Т. С. |
| Keywords: | вакуумная технология пленки методические материалы испарители гибридные интегральные микросхемы тонкопленочные элементы термическое вакуумное напыление |
| Issue Date: | 1990 |
| Citation: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост.: А. В. Волков, В. Д. Дмитриев, Т. С. Калугина]. - Куйбышев, 1990. - 1 файл (622,46 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Приводятся сведения о материалах для испарителей,технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов и проводников пассивных элементов РЛС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем и микропроцессоров". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38964 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Волков А.В. Изучение технологии 1990.pdf | 622.46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.