1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВолков А. В.
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.
dc.contributor.authorКалугина Т. С.
dc.coverage.spatialвакуумная технология
dc.coverage.spatialгибридные интегральные микросхемы
dc.coverage.spatialиспарители
dc.coverage.spatialметодические материалы
dc.coverage.spatialпленки
dc.coverage.spatialтермическое вакуумное напыление
dc.coverage.spatialтонкопленочные элементы
dc.date1990
dc.date.accessioned2025-11-26T12:18:47Z-
dc.date.available2025-11-26T12:18:47Z-
dc.date.issued1990
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470499
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост.: А. В. Волков, В. Д. Дмитриев, Т. С. Калугина]. - Куйбышев, 1990. - 1 файл (622,46 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38964-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractПриводятся сведения о материалах для испарителей,технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов и проводников пассивных элементов РЛС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем и микропроцессоров".
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : неп
dc.subjectвакуумная технология
dc.subjectпленки
dc.subjectметодические материалы
dc.subjectиспарители
dc.subjectгибридные интегральные микросхемы
dc.subjectтонкопленочные элементы
dc.subjectтермическое вакуумное напыление
dc.subject.rugasnti47.01
dc.subject.udc621.382.049.77.002(075)
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме
dc.typeText
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93225
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93225
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Волков А.В. Изучение технологии 1990.pdf622.46 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.