Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме |
| Authors: | Волков А. В. |
| Keywords: | геоинформационные системы (ГИС) термическое напыление в вакууме пассивные элементы ГИС методические издания |
| Issue Date: | 1982 |
| Citation: | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (405,38 Кб) |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения технологическихпроцессов изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов к проводников пассивных элементов гибридных ИС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38952 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Волков А.В. Изучение технологии 1982.pdf | 405.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.