1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 01. Учебные материалы
  3. Методические издания
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВолков А. В.
dc.coverage.spatialгеоинформационные системы (ГИС)
dc.coverage.spatialметодические издания
dc.coverage.spatialпассивные элементы ГИС
dc.coverage.spatialтермическое напыление в вакууме
dc.date1982
dc.date.accessioned2025-11-26T12:18:42Z-
dc.date.available2025-11-26T12:18:42Z-
dc.date.issued1982
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\470498
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (405,38 Кб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38952-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.
dc.description.abstractПредлагаются методы изучения технологическихпроцессов изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов к проводников пассивных элементов гибридных ИС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем".
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : неп
dc.subjectгеоинформационные системы (ГИС)
dc.subjectметодические издания
dc.subjectпассивные элементы ГИС
dc.subjectтермическое напыление в вакууме
dc.subject.rugasnti47.33
dc.subject.udc621.382.049.77.002(075)
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
local.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93227
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93227
Appears in Collections:Методические издания

Files in This Item:
File SizeFormat 
Волков А.В. Изучение технологии 1982.pdf405.38 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.