Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Влияние параметров электрохимического травления на степень пористости кремния |
| Authors: | Нефедов С. А. Услин Д. А. |
| Keywords: | травление пористость пористый кремний дифрактометрия |
| Issue Date: | 2025 |
| Citation: | Нефедов, С. А. Влияние параметров электрохимического травления на степень пористости кремния / С. А. Нефедов, Д. А. Услин // Volga Cyber Week : сб. тр. I Всерос. науч.-техн. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 24-26 марта 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 72. |
| Abstract: | В данной работе приведены результаты исследования влияния параметров травления при создании слоя пористого кремния. Построена зависимость пористости кремния от времени травления и плотности тока. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38655 |
| Appears in Collections: | VOLGA CYBER WEEK |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-2192-9_2025-72.pdf | 582.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.