1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Институт информатики и кибернетики
  4. VOLGA CYBER WEEK
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНефедов С. А.
dc.contributor.authorУслин Д. А.
dc.coverage.spatialтравление
dc.coverage.spatialпористость
dc.coverage.spatialпористый кремний
dc.coverage.spatialдифрактометрия
dc.creatorНефедов С. А., Услин Д. А.
dc.date2025
dc.date.accessioned2025-08-27T16:09:07Z-
dc.date.available2025-08-27T16:09:07Z-
dc.date.issued2025
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\576517
dc.identifier.citationНефедов, С. А. Влияние параметров электрохимического травления на степень пористости кремния / С. А. Нефедов, Д. А. Услин // Volga Cyber Week : сб. тр. I Всерос. науч.-техн. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 24-26 марта 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 72.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38655-
dc.description.abstractВ данной работе приведены результаты исследования влияния параметров травления при создании слоя пористого кремния. Построена зависимость пористости кремния от времени травления и плотности тока.
dc.languagerus
dc.sourceVolga Cyber Week : сб. тр. I Всерос. науч.-техн. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 24-26 марта 2025 г.). - Текст : электронный
dc.subjectтравление
dc.subjectпористость
dc.subjectпористый кремний
dc.subjectдифрактометрия
dc.titleВлияние параметров электрохимического травления на степень пористости кремния
dc.typeText
dc.citation.spage72
local.contributor.authorНефедов С. А.
local.contributor.authorУслин Д. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VOLGA-CYBER-WEEK/Vliyanie-parametrov-elektrohimicheskogo-travleniya-na-stepen-poristosti-kremniya-115786
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VOLGA-CYBER-WEEK/Vliyanie-parametrov-elektrohimicheskogo-travleniya-na-stepen-poristosti-kremniya-115786
Appears in Collections:VOLGA CYBER WEEK

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2192-9_2025-72.pdf582.38 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.