Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 02. Монографии и сборники научных трудов
3. Исследования по акустике

Title:	Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем
Authors:	Чернобровкин Д. И. Кутолин С. А. Волкова В. В. Мишанин Н. Д. Пиганов М. Н.
Keywords:	диэлектрики емкостных элементов диэлектрическая проницаемость интегральные микросхемы результаты исследований оптимальные технологические условия критерии выбора материалов коэффициент поляронного эффекта конденсация диэлектрических пленок энергия активации электрофизические свойства пленок ширина запрещенной зоны тонкопленочные конденсаторы
Issue Date:	1977
Citation:	Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем / Д. И. Чернобровкин, С. А. Кутолин, В. В. Волкова, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов // Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. / М-во высш. и сред.спец. образования РСФСР, Куйбышев.авиац. ин-т им. С. П. Королева ; редкол. : Г. В. Абрамов (отв. ред.) [и др.]. - Куйбышев : [КуАИ], 1977. - Вып. 5, 1977. - С. 70-78.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/33859
Appears in Collections:	Исследования по акустике

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.