1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 02. Монографии и сборники научных трудов
  3. Исследования по акустике
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЧернобровкин Д. И.
dc.contributor.authorКутолин С. А.
dc.contributor.authorВолкова В. В.
dc.contributor.authorМишанин Н. Д.
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialдиэлектрики емкостных элементов
dc.coverage.spatialдиэлектрическая проницаемость
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialрезультаты исследований
dc.coverage.spatialоптимальные технологические условия
dc.coverage.spatialкритерии выбора материалов
dc.coverage.spatialкоэффициент поляронного эффекта
dc.coverage.spatialконденсация диэлектрических пленок
dc.coverage.spatialэнергия активации
dc.coverage.spatialэлектрофизические свойства пленок
dc.coverage.spatialширина запрещенной зоны
dc.coverage.spatialтонкопленочные конденсаторы
dc.creatorЧернобровкин Д. И., Кутолин С. А., Волкова В. В., Мишанин Н. Д., Пиганов М. Н.
dc.date1977
dc.date.accessioned2025-08-27T15:46:19Z-
dc.date.available2025-08-27T15:46:19Z-
dc.date.issued1977
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\550948
dc.identifier.citationВыбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем / Д. И. Чернобровкин, С. А. Кутолин, В. В. Волкова, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов // Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. / М-во высш. и сред.спец. образования РСФСР, Куйбышев.авиац. ин-т им. С. П. Королева ; редкол. : Г. В. Абрамов (отв. ред.) [и др.]. - Куйбышев : [КуАИ], 1977. - Вып. 5, 1977. - С. 70-78.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/33859-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofИсследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. - Текст : электронный
dc.sourceИсследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике. - Вып. 5
dc.subjectдиэлектрики емкостных элементов
dc.subjectдиэлектрическая проницаемость
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectрезультаты исследований
dc.subjectоптимальные технологические условия
dc.subjectкритерии выбора материалов
dc.subjectкоэффициент поляронного эффекта
dc.subjectконденсация диэлектрических пленок
dc.subjectэнергия активации
dc.subjectэлектрофизические свойства пленок
dc.subjectширина запрещенной зоны
dc.subjectтонкопленочные конденсаторы
dc.titleВыбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем
dc.typeText
dc.citation.epage78
dc.citation.spage70
local.contributor.authorЧернобровкин Д. И.
local.contributor.authorКутолин С. А.
local.contributor.authorВолкова В. В.
local.contributor.authorМишанин Н. Д.
local.contributor.authorПиганов М. Н.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Issledovaniya-po-akustike/Vybor-materialov-i-optimalnyh-tehnologicheskih-uslovii-kondensacii-dielektricheskih-plenok-dlya-mikroshem-109087
Appears in Collections:Исследования по акустике

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр._1977-70-78.pdf411.77 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.