| Title: | Технологии микросистемной техники и наносенсорики |
| Authors: | Павельев В. С. Тукмаков К. Н. Агафонов А. Н. |
| Keywords: | бортовая измерительная техника дифракционная оптика интегральная микроэлектроника литографические технологии наноматериалы наносенсорика миниатюрные сенсоры микросистемная техника |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Технологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/32521 |
| Appears in Collections: | Навигация и управление движением |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-55-56.pdf | 416.31 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.