1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Институт ракетно-космической техники
  4. Навигация и управление движением
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПавельев В. С.
dc.contributor.authorТукмаков К. Н.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.coverage.spatialбортовая измерительная техника
dc.coverage.spatialдифракционная оптика
dc.coverage.spatialинтегральная микроэлектроника
dc.coverage.spatialлитографические технологии
dc.coverage.spatialнаноматериалы
dc.coverage.spatialнаносенсорика
dc.coverage.spatialминиатюрные сенсоры
dc.coverage.spatialмикросистемная техника
dc.creatorПавельев В. С., Тукмаков К. Н., Агафонов А. Н., Трипати Н., Кумар С.
dc.date2020
dc.date.accessioned2025-08-27T15:16:44Z-
dc.date.available2025-08-27T15:16:44Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\446766
dc.identifier.citationТехнологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/32521-
dc.languagerus
dc.sourceНавигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.). - Текст : электронный
dc.subjectбортовая измерительная техника
dc.subjectдифракционная оптика
dc.subjectинтегральная микроэлектроника
dc.subjectлитографические технологии
dc.subjectнаноматериалы
dc.subjectнаносенсорика
dc.subjectминиатюрные сенсоры
dc.subjectмикросистемная техника
dc.titleТехнологии микросистемной техники и наносенсорики
dc.typeText
dc.citation.epage56
dc.citation.spage55
local.contributor.authorПавельев В. С.
local.contributor.authorТукмаков К. Н.
local.contributor.authorАгафонов А. Н.
local.contributor.authorТрипати Н.
local.contributor.authorКумар С.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Navigaciya-i-upravlenie-dvizheniem/Tehnologii-mikrosistemnoi-tehniki-i-nanosensoriki-Tekst-elektronnyi-86067
Appears in Collections:Навигация и управление движением

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-55-56.pdf416.31 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.