1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Региональная научно-практическая конференция, посвященная 50-летию первого полета человека в космос
Title: Исследование процессов травления кремния во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда
Authors: Колпаков, В.А.
Подлипнов, В.В.
Issue Date: 2011
Publisher: Издательство Самарского государственного аэрокосмического университета
Citation: Региональная научно-практическая конференция, посвящѐнная 50-летию первого полѐта человека в космос. Самара, 14-15 апреля 2011 г.: тезисы докладов. – Самара: Издательство Самарского государственного аэрокосмического университета, 2011. – c. 217-218
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/19624
ISBN: 978-5-7883-0839-5
Appears in Collections:Региональная научно-практическая конференция, посвященная 50-летию первого полета человека в космос

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
217-218.pdfОсновная статья285.13 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.