Исследование процессов травления кремния во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда

Колпаков, В.А.; Подлипнов, В.В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Колпаков, В.А.
dc.contributor.author	Подлипнов, В.В.
dc.date	2011
dc.date.accessioned	2025-08-27T05:11:26Z	-
dc.date.available	2025-08-27T05:11:26Z	-
dc.date.issued	2011
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20170403\63384
dc.identifier.citation	Региональная научно-практическая конференция, посвящѐнная 50-летию первого полѐта человека в космос. Самара, 14-15 апреля 2011 г.: тезисы докладов. – Самара: Издательство Самарского государственного аэрокосмического университета, 2011. – c. 217-218
dc.identifier.isbn	978-5-7883-0839-5
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/19624	-
dc.language	rus
dc.publisher	Издательство Самарского государственного аэрокосмического университета
dc.title	Исследование процессов травления кремния во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда
dc.type	Article
dc.identifier.udc	621.382
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Sbornik-tezisov-dokladov-regionalnoi-nauchnoprakticheskoi-konferencii-posvyashennoi-50letiu-pervogo-poleta-cheloveka-v-kosmos/Issledovanie-processov-travleniya-kremniya-vo-vneelektrodnoi-plazme-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-63384
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Sbornik-tezisov-dokladov-regionalnoi-nauchnoprakticheskoi-konferencii-posvyashennoi-50letiu-pervogo-poleta-cheloveka-v-kosmos/Issledovanie-processov-travleniya-kremniya-vo-vneelektrodnoi-plazme-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-63384
Appears in Collections:	Региональная научно-практическая конференция, посвященная 50-летию первого полета человека в космос

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
217-218.pdf	Основная статья	285.13 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

Samara University Repository

Welcome!