| Title: | Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобраз |
| Authors: | Атажанов Ш. Р. |
| Keywords: | диэлектрики выращивание тонких пленок газотранспортный метод гетероэпитаксиальное выращивание диссертации твердофазные источники термопреобразователи труды ученых СамГУ пленки Физика |
| Issue Date: | 1997 |
| Citation: | Атажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; [Самар. гос. ун-т]. - Самара, 1997. - on-line |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18814 |
| Appears in Collections: | Авторефераты |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf | 559.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.