Title: Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобраз
Authors: Атажанов Ш. Р.
Keywords: диэлектрики
выращивание тонких пленок
газотранспортный метод
гетероэпитаксиальное выращивание
диссертации
твердофазные источники
термопреобразователи
труды ученых СамГУ
пленки
Физика
Issue Date: 1997
Citation: Атажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; [Самар. гос. ун-т]. - Самара, 1997. - on-line
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18814
Appears in Collections:Авторефераты

Files in This Item:
File SizeFormat 
Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf559.02 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.